Ziel dieser Arbeit ist, eine neue interferometrische Methode zur Rauheitsmessung zu entwickeln. Im Gegensatz zu herkömmlichen Ansätzen wird die Depolarisation des Streulichts durch die raue Probe berücksichtigt, was zu einer genaueren Schätzung der Rauheit im Sub-Wellenlängenbereich und zu zerstörungsfreien und schnellen Messungen führt. Verglichen mit früheren Arbeiten erlaubt die allgemeinere Theorie die Anwendung auf weitere optische Geräte, bei denen eine Depolarisierung des Lichts auftritt.weiterlesen