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Predictive Simulation of Semiconductor Processing

Status and Challenges

Produktform: Buch / Einband - fest (Hardcover)


Dieser Artikel gehört zu den folgenden Serien

Sprache(n): Englisch

ISBN: 978-3-540-20481-7 / 978-3540204817 / 9783540204817

Verlag: Springer Berlin

Erscheinungsdatum: 05.05.2004

Seiten: 490

Auflage: 1

Herausgegeben von Jaroslaw Dabowski, Eicke R. Weber, Jarek Dabrowski

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