In 31 Beiträgen wird ein Einblick in den derzeitigen Stand der quantitativen Erfassung von Oberflächenstrukturen im Nanometerbereich vermittelt. Die Beiträge verteilen sich nahezu gleichmäßig auf die Themenbereiche: Normale und Kalibriermethoden - Angewandte Messungen - Neue Instrumente und Messmethoden. Die Rastersondenmikroskopie bildet mit mehr als der Hälfte der Beiträge den instrumentellen Schwerpunkt, aber auch verschiedene optische Messmethoden und -geräte werden behandelt. Thematischer Schwerpunkt ist die Messung von Stufenhöhen und die Kalibrierung von Messgeräten in der entsprechenden z-Achse.weiterlesen