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Rapid Thermal Processing of Semiconductors

Produktform: E-Buch Text Elektronisches Buch in proprietärem

Rapid thermal processing has contributed to the development of single wafer cluster processing tools and other innovations in integrated circuit manufacturing environments. Borisenko and Hesketh review theoretical and experimental progress in the field, discussing a wide range of materials, processes, and conditions. They thoroughly cover the work of international investigators in the field. weiterlesen

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Elektronisches Format: PDF

Sprache(n): Englisch

ISBN: 978-1-4899-1804-8 / 978-1489918048 / 9781489918048

Verlag: Springer US

Erscheinungsdatum: 22.11.2013

Seiten: 358

Autor(en): Victor Borisenko, Peter J. Hesketh, Victor E. Borisenko

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