Ziel des 159. PTB-Seminars war die Darstellung und Diskussion aktueller Herausforderungen und Entwicklungen in der ein- und zweidimensionalen Längenmesstechnik unter Einbeziehung von Fachleuten aus Industrie, Wissenschaft, Kalibrierlaboratorien sowie metrologischen Instituten. Insgesamt nahmen etwa 100 Experten aus 12 Ländern an der Veranstaltung teil. Anlass für das Seminar waren die Aufstellung sowie die laufenden Arbeiten zur Inbetriebnahme des neuen 1D-Längenkomparators der PTB, des sogenannten Nanometerkomparators. Die Vorträge des ersten Tages konzentrierten sich auf verschiedene Aspekte der hochgenauen 1D-Längenmesstechnik. Die Beiträge des zweiten Tages waren auf spezifische Anforderungen der Halbleiterindustrie an die dimensionelle Metrologie sowie die 2D-Koordinatenmesstechnik ausgerichtet. weiterlesen