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Sekundärionen- und Neutralteilchenmassenspektrometrie an oxidischen Dünnschichtsystemen

Der Einfluß ionenbeschußindizierter Prozesse auf die Sekundärteilchenemission im Zerstäubungsgleichgewicht und an Schichtgrenzflächen

Produktform: Buch / Einband - flex.(Paperback)

Sprache(n): Deutsch

ISBN: 978-3-8244-2066-7 / 978-3824420667 / 9783824420667

Verlag: Deutscher Universitätsverlag

Erscheinungsdatum: 01.01.1995

Seiten: 211

Auflage: 1

Autor(en): Dieter Lipinsky

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