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Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique

A Manual of Wet-Etched Silicon Structures

Produktform: Buch / Einband - fest (Hardcover)

Sprache(n): Englisch

ISBN: 978-3-540-22109-8 / 978-3540221098 / 9783540221098

Verlag: Springer Berlin

Erscheinungsdatum: 12.10.2004

Seiten: 222

Auflage: 1

Autor(en): Joachim Frühauf

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