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Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique

A Manual of Wet-Etched Silicon Structures

Produktform: Buch / Einband - flex.(Paperback)

Sprache(n): Englisch

ISBN: 978-3-642-06048-9 / 978-3642060489 / 9783642060489

Verlag: Springer Berlin

Erscheinungsdatum: 13.10.2010

Seiten: 222

Auflage: 1

Autor(en): Joachim Frühauf

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