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Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique

A Manual of Wet-Etched Silicon Structures

Produktform: E-Buch Text Elektronisches Buch in proprietärem

Elektronisches Format: PDF

Sprache(n): Englisch

ISBN: 978-3-540-26876-5 / 978-3540268765 / 9783540268765

Verlag: Springer Berlin

Erscheinungsdatum: 05.12.2005

Seiten: 222

Autor(en): Joachim Frühauf

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