Silizium ist das wichtigste Material der Halbleitertechnologie, der Basis der modernen Mikroelektronik. Das Buch ist verfaßt von führenden Experten auf diesem Gebiet und gibt angefangen mit der Herstellung hochreinen Siliziums einen breiten Überblick über Aufbau und Herstellung moderner Silizium-Baulelemente für die Mikroelektronik. Es wird für jeden Physiker, Ingenieur oder Materialwissenschaftler, der sich mit der Forschung und Entwicklung neuer Halbleiter-Elemente befaßt, ein unentbehrliches Nachschlagewerk sein.weiterlesen