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Silizium-Waterbonden: Montageprozesse für Silizium- und Glasmaterialien in der Mikromechanik

Produktform: Buch / Einband - flex.(Paperback)


Dieser Artikel gehört zu den folgenden Serien

Sprache(n): Deutsch

ISBN: 978-3-87155-499-5 / 978-3871554995 / 9783871554995

Verlag: DVS Media GmbH

Erscheinungsdatum: 30.11.1997

Seiten: 98

Autor(en): Maik Wiemer, Kai Herziger

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