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Sputtering by Particle Bombardment I

Physical Sputtering of Single-Element Solids

Produktform: E-Buch Text Elektronisches Buch in proprietärem

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Dieser Artikel gehört zu den folgenden Serien

Topics in Applied Physics

Elektronisches Format: PDF

Sprache(n): Englisch

ISBN: 978-3-540-38514-1 / 978-3540385141 / 9783540385141

Verlag: Springer Berlin

Erscheinungsdatum: 28.07.2005

Seiten: 284

Herausgegeben von R. Behrisch

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