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The Physics of Micro/Nano-Fabrication

Produktform: E-Buch Text Elektronisches Buch in proprietärem

In this revised and expanded edition, the authors provide a comprehensive overview of the tools, technologies, and physical models needed to understand, build, and analyze microdevices. Students, specialists within the field, and researchers in related fields will appreciate their unified presentation and extensive references. weiterlesen

Dieser Artikel gehört zu den folgenden Serien

Elektronisches Format: PDF

Sprache(n): Englisch

ISBN: 978-1-4757-6775-9 / 978-1475767759 / 9781475767759

Verlag: Springer US

Erscheinungsdatum: 29.06.2013

Seiten: 622

Autor(en): Ivor Brodie, Julius J. Muray

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