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Thin Films Material Technology

Sputtering of Compound Materials

Produktform: Buch / Einband - flex.(Paperback)

Sprache(n): Englisch

ISBN: 978-3-642-05931-5 / 978-3642059315 / 9783642059315

Verlag: Springer Berlin

Erscheinungsdatum: 02.01.2013

Seiten: 518

Auflage: 1

Zielgruppe: Professional/practitioner

Autor(en): Kiyotaka Wasa, Makoto Kitabatake, Hideaki Adachi

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