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Wolfram-Dickschichtmetallisierungen im Simultaneinbrand mit Aluminiumnitrid

Produktform: Buch / Einband - flex.(Paperback)

Diese Arbeit hatte das Ziel, wesentliche Probleme bei der Vergesellschaftung von W mit der AlN-Keramik durch die Zusammensetzung der W-Metallisierungspaste in Kombination mit der thermischen Prozesstechnik zu lösen.Schwerpunktmäßig wurden dabei die Einflüsse der Partikelgröße von W und den Sekundärphasen auf das Sinterverhalten und den Flächenwiderstand von W-Metallisierungen untersucht. Weiterhin wurden die durch die Prozesstechnik und die Materialzusammensetzungen hervorgerufenen Fremdphasen untersucht, deren Einflüsse betrachtet und Möglichkeiten zur Verringerung aufgezeigt.Mit optimierter Prozesstechnik konnte der Aufbau von AlN-W-HTCC-Demonstratoren erfolgreich durchgeführt werden. Die Ergebnisse zeigen weiterhin, dass die Wolframkarbid-Bildung im Vergleich zur Wolframborid-Bildung nur einen geringen Einfluss auf den Flächenwiderstand der W-Metallisierung hatte.Durch grundlegende Untersuchungen an den entwickelten W-Metallisierungen in verschiedenen Sinterzuständen konnte ein Modell zum Sinterverhalten der W-Metallisierung skizziert werden.Im Gesamtergebnis zeigt die Arbeit, dass neben den verwendeten Werkstoffen weiterhin die thermische Prozesstechnik betrachtet werden muss.weiterlesen

Sprache(n): Deutsch

ISBN: 978-3-8396-0727-5 / 978-3839607275 / 9783839607275

Verlag: Fraunhofer Verlag

Erscheinungsdatum: 27.05.2014

Seiten: 163

Herausgegeben von Alexander Michaelis
Autor(en): Bernd Joedecke

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