Ziel dieser Arbeit ist die Entwicklung eines metallischen Nanoaktors, dessen mechanisches Verhalten über magnetische Felder gesteuert werden kann. Mit Hilfe der in der Mikrotechnik etablierten Technologien werden Titan-Nanobiegebalken realisiert, dessen Vorderenden mit einem magnetischen Element funktionalisiert sind. Prozessablauf und Charakterisierungsmethoden werden ausführlich beschrieben und liefern wertvolle Erkenntnisse für den Betrieb solcher Nanoaktoren in zukünftigen Nanosystemen.

Für Objekte mit sehr ähnlichen Absorptionskoeffizienten, wie gesundes und karzinogenes Gewebe liefert der Absorptionskontrast häufig unzureichende Informationen. Eine vielversprechende Methode einer kontrastreichen Bildgebung bietet jedoch die Phasenkontrast Bildgebung in einem Talbot-Interferometer. Hierfür werden Gitter mit hohen Aspektverhältnissen benötigt. Im Rahmen dieses Buchs wird der LIGAProzess genutzt, um erstmalig Gitter mit einem Aspektverhältnis von mindestens 100 herzustellen.

In einem mikrooptischen Ablenksystem sollen die sensorischen Eigenschaften der ferromagnetischen Formgedächtnislegierung Ni-Mn-Ga untersucht werden. Dabei kommt ein elektro-thermisch aktivierbarer, durch einen Permanentmagneten vorausgelenkter Dünnfilm-Biegeaktor zur Strahlablenkung zum Einsatz. Die Untersuchung der Eignung des magnetoresistiven Materials zur Positionsermittlung ist Ziel dieser Arbeit. Zur vergleichenden Bewertung werden kapazitive und resistive Referenzsensoren herangezogen.