Mikrogreifer und aktive Mikromontagehilfsmittel mit integrierten Antrieben
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Entwicklung eines gelenkintegrierten Winkelsensors für den Einsatz in hochdynamischen Parallelrobotern
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Prozesstechnologie zur Herstellung mikrotechnischer Komponenten im Verbundwerkstoffsystem Silizium/SU-8
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