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Multi-Wafer Rotating MEMS Machines

Turbines, Generators, and Engines

Produktform: Buch / Einband - flex.(Paperback)

Verlag: Springer US, Auflage 1, 456 Seiten

Erscheinungsdatum: 03.03.2012

160,49 € inkl. MwSt.
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BioNanoFluidic MEMS

Produktform: Buch / Einband - flex.(Paperback)

Verlag: Springer US, Auflage 1, 295 Seiten

Erscheinungsdatum: 23.11.2010

117,69 € inkl. MwSt.
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MEMS Vibratory Gyroscopes

Structural Approaches to Improve Robustness

Produktform: Buch / Einband - fest (Hardcover)


Verlag: Springer US, Auflage 1, 260 Seiten

Erscheinungsdatum: 23.10.2008

192,59 € inkl. MwSt.
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Silicon Carbide Microsystems for Harsh Environments

Produktform: Buch / Einband - flex.(Paperback)


Verlag: Springer US, Auflage 1, 232 Seiten

Erscheinungsdatum: 14.07.2013

149,98 € inkl. MwSt.
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BioNanoFluidic MEMS

Produktform: Buch / Einband - fest (Hardcover)

Verlag: Springer US, Auflage 1, 295 Seiten

Erscheinungsdatum: 14.12.2007

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MEMS Reliability

Produktform: Buch / Einband - fest (Hardcover)


This book focuses on the reliability and manufacturability of MEMS at a fundamental level. It demonstrates how to design MEMs for reliability and provides detailed information on the different types of failure modes and how to avoid them.

Verlag: Springer US, Auflage 1, 291 Seiten

Erscheinungsdatum: 11.11.2010

171,19 € inkl. MwSt.
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Microfluidic Technologies for Miniaturized Analysis Systems

Produktform: Buch / Einband - flex.(Paperback)

Verlag: Springer US, Auflage 1, 616 Seiten

Erscheinungsdatum: 23.11.2010

219,98 € inkl. MwSt.
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Photonic Microsystems

Micro and Nanotechnology Applied to Optical Devices and Systems

Produktform: Buch / Einband - flex.(Paperback)

Verlag: Springer US, Auflage 1, 632 Seiten

Erscheinungsdatum: 09.11.2010

139,09 € inkl. MwSt.
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Radioisotope Thin-Film Powered Microsystems

Produktform: Buch / Einband - fest (Hardcover)


Verlag: Springer US, Auflage 1, 198 Seiten

Erscheinungsdatum: 14.09.2010

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