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Micromachined Mirrors
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Microcantilevers for Atomic Force Microscope Data Storage
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Bringing Scanning Probe Microscopy up to Speed
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Materials & Process Integration for MEMS
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Heat Convection in Micro Ducts
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Ambient Intelligence with Microsystems
Augmented Materials and Smart Objects
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BioMEMS
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MEMS Linear and Nonlinear Statics and Dynamics
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This book presents the necessary analytical and computational tools for MEMS designers to model and simulate most known MEMS devices, structures, and phenomena. In also provides analysis and treatment for the most common static and dynamic phenomena in MEMS.
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Methodology for the Modeling and Simulation of Microsystems
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Materials & Process Integration for MEMS
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