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Scanning Probe Lithography
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Microscale Heat Conduction in Integrated Circuits and Their Constituent Films
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Optical Microscanners and Microspectrometers using Thermal Bimorph Actuators
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Micromachined Mirrors
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Advanced Mechatronics and MEMS Devices
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This book describes state-of-the-art MEMS devices and introduces the latest technology in electrical and mechanical microsystems. It also presents a number of topics in advanced robotics and an abundance of applications of MEMS in robotics.
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Micromachined Ultrasound-Based Proximity Sensors
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