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Advanced Mechatronics and MEMS Devices
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This book describes state-of-the-art MEMS devices and introduces the latest technology in electrical and mechanical microsystems. It also presents a number of topics in advanced robotics and an abundance of applications of MEMS in robotics.
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Dynamics of Microelectromechanical Systems
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Micromachined Ultrasound-Based Proximity Sensors
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Scanning Probe Lithography
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Microscale Heat Conduction in Integrated Circuits and Their Constituent Films
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Microcantilevers for Atomic Force Microscope Data Storage
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MEMS Linear and Nonlinear Statics and Dynamics
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This book presents the necessary analytical and computational tools for MEMS designers to model and simulate most known MEMS devices, structures, and phenomena. In also provides analysis and treatment for the most common static and dynamic phenomena in MEMS.
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BioMEMS
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Materials & Process Integration for MEMS
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Optimal Synthesis Methods for MEMS
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