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CCD Image Sensors in Deep-Ultraviolet
Degradation Behavior and Damage Mechanisms
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Piezoelectric Multilayer Beam Bending Actuators
Static and Dynamic Behavior and Aspects of Sensor Integration
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Modelling of Microfabrication Systems
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Shape Memory Microactuators
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Silicon Microchannel Heat Sinks
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CMOS Cantilever Sensor Systems
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