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Thermal Transport for Applications in Micro/Nanomachining
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CMOS Hotplate Chemical Microsensors
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Silicon Microchannel Heat Sinks
Theories and Phenomena
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Piezoelectric Multilayer Beam Bending Actuators
Static and Dynamic Behavior and Aspects of Sensor Integration
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Surface Tension in Microsystems
Engineering Below the Capillary Length
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Silicon Microchannel Heat Sinks
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Laser Diode Microsystems
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Micromechanical Photonics
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Micromachines as Tools for Nanotechnology
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Integrated Chemical Microsensor Systems in CMOS Technology
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