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CMOS Cantilever Sensor Systems
Atomic Force Microscopy and Gas Sensing Applications
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Modelling of Microfabrication Systems
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CCD Image Sensors in Deep-Ultraviolet
Degradation Behavior and Damage Mechanisms
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Piezoceramic Sensors
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provides an up-to-date overview of various types of piezosensors. Readers will gain an understanding of the fundamentals, technical design and practical applications of piezoceramic sensors, in addition to new measuring techniques.
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CMOS Hotplate Chemical Microsensors
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Electromechanical Systems in Microtechnology and Mechatronics
Electrical, Mechanical and Acoustic Networks, their Interactions and Applications
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Modelling of Microfabrication Systems
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Piezoelectric Cantilevered Structures
Modeling, Control and Estimation Aspects
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Mechanical Microsensors
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Force Sensors for Microelectronic Packaging Applications
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