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Shape Memory Microactuators
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CMOS Cantilever Sensor Systems
Atomic Force Microscopy and Gas Sensing Applications
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Piezoelectric Multilayer Beam Bending Actuators
Static and Dynamic Behavior and Aspects of Sensor Integration
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Micromachines as Tools for Nanotechnology
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Thermal Transport for Applications in Micro/Nanomachining
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Mechanical Microsensors
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Integrated Chemical Microsensor Systems in CMOS Technology
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Piezotronics and Piezo-Phototronics
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This book introduces the fundamentals of piezotronics and piezo-phototronics, and shows how the functionality of piezotroics and piezo-phototronics are complementary to CMOS technology. Describes applications in sensing, nanorobotics and many other areas.
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Force Sensors for Microelectronic Packaging Applications
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